光腔衰荡光谱法的主要部件是激光器、 一对高反镜组成的衰荡腔和光探测器。激 光器发射出的光信号经准直后注入到衰荡 腔中。光信号在衰荡腔内一对高反镜之间 多次反射。光信号遇到位于后端的高反射 镜时，有少量的光信号以透射的方式离开 衰荡腔。探测器实时捕捉透射的光信号。

当探测器接收到的光强达到阈值时，激光器停止发射出光信号，衰 荡腔中的光信号的开始衰荡，其光强（1）呈指数衰减。光强衰减 主要由衰荡腔自身损耗和衰荡腔中待测气体的选择性吸收造成。因 此测得空荡时间 T（无待测气体的选择性吸收）和衰荡时间 r，即 可求出待测气体浓度 Concentration=K（l/t-l/）。

光腔衰荡光谱法（Cavity Ring-Down Spectroscopy, CRDS) 是研究气体中原子和分子含量的直接分析方法。该方法能提供绝对吸收系数（K），可进行自校准。相比常规的微量气体分析方法 ( 质谱法，色谱法，光谱法，电容法，电化学法等），光腔衰荡光谱法具有灵敏度高，响应速度快，准确性高，稳定性强等优点，使其在半导体、环保、医疗等领域具有广泛应用前景。