2025年3月25日，在SEMICON国际半导体展（SEMICON China 2025）上，内蒙古光能科技有限公司（以下简称“内蒙古光能”）隆重展示了其自主研发的基于CRDS技术的高灵敏度微量气体分析仪，成为展会焦点之一。该产品凭借超高精度、快速响应和稳定性能，吸引了半导体行业专家、科研机构及产业链合作伙伴的广泛关注。

产品亮点：CRDS技术赋能精密检测

本次展出的高灵敏度微量气体分析仪采用国际领先的腔衰荡光谱技术（CRDS），具备以下核心优势：

超高检测精度：可检测ppb（十亿分之一）级甚至更低浓度的微量气体（如H₂、O₂、CO₂、NH₃等），满足半导体制造对超纯气体环境的严苛要求。

快速响应与稳定性：实时监测气体成分变化，响应时间＜1秒，长期运行无漂移，保障晶圆生产过程的工艺稳定性。

应用场景：助力半导体制造提质增效

该分析仪专为半导体行业的高纯气体检测需求设计，适用于：

工艺气体纯度监控：实时监测刻蚀、沉积等关键工艺中的气体杂质，防止晶圆污染。

洁净室环境检测：确保生产环境中的微量气体成分符合ISO 14644标准。

尾气排放分析：帮助半导体企业实现绿色生产与环保合规。

行业反响：技术突破获认可

展会期间，内蒙古光能的技术团队与来自半导体多家龙头企业的专家进行了深入交流，获得专家的一致好评。国际半导体产业协会（SEMI）分析师表示：“CRDS技术在半导体气体检测领域的应用具有里程碑意义，内蒙古光能的产品填补了国内高端市场的空白。”

展望未来：持续创新驱动行业进步

内蒙古光能科技有限公司将持续优化CRDS技术，拓展其在半导体、新能源、医疗等领域的应用，为全球客户提供更精准、更可靠的气体分析解决方案。

关于内蒙古光能科技有限公司  
内蒙古光能科技有限公司专注于高灵敏度微量气体分析仪的研发与生产，致力于为全球半导体和新能源产业提供高性能、低成本的高纯气体检测解决方案。

张经理  
市场部总监  
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