甲烷分析仪
AE-CH4

甲烷分析仪


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• 绝对测量 • 操作简单,无需频繁维护 • 优越的长期稳定和超低漂移 • 测量精度满足 WMO 标准
  • 性能规格表
  • 技术参数表
    • 商品名称: 甲烷分析仪
    • 商品编号: AE-CH4
    • 副标: AE-CH<sub>4</sub>
    • 微量组分: CH4
    • 行业用途: 半导体制造
    • 产品型号: AE系列

    • 绝对测量 • 操作简单,无需频繁维护 • 优越的长期稳定和超低漂移 • 测量精度满足 WMO 标准

    性能

    • 适用气体:大气

    • 检测范围:详见技术参数表

    • 测量下限:详见技术参数表

    • 灵敏度:±0.75% 或 1/3LDL

    • 准确度:±3% 或 LDL

    • 响应速度:< 1minute to 95%

     

    电子参数

    • 报警指示:系统报警

    • 供电要求:100-240VAC,50/60Hz

    • 功率:300W(MAX)

    • 用户界面:10.1 寸液晶显示屏

    • 信号输出:4-20mA 输出、RS485 输出、
           自适应网络、RS-232 串行通信

     

    气路系统和条件

    • 工作环境温度:10℃~ 40℃

    • 工作环境相对湿度:30%至 80%(无凝液)

    • 存放温度:-10℃ -40℃

    • 管路材料:316L 不锈钢
           Ra < 0.25μm

    • 检漏测试:< 1×10-9mbar l/sec

    • 入口压力:0 ~ 15psi

    • 最大流量:约 1.0slm

    • 通入气体温度:最高 60℃

    • 进出气口气路:1/4VCR 公头

     

    其它

    • 尺寸:730mm×310mm×248mm

    • 重量:15Kg

    • 外观:垂直面板

     

    • 被检气和背景气:CH4 in Air

    • 测量范围:0-1000ppm

    • 测量下限:1.0ppb

    • 灵敏度:0.35ppb

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