- 性能规格表
- 技术参数表
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- 商品名称: 氟化氢分析仪
- 商品编号: AF-HF
- 副标: AF-HF
- 微量组分: HF
- 行业用途: 半导体制造
- 产品型号: AF系列
• ppt 级别测量精度 • 绝对测量（无需校准） • 免维护 - 无需定期更换 / 维护传感器 • 响应速度快 • 占地面积小
性能
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适用气体：Cleanroom Air
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检测范围：详见技术参数表
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测量下限：详见技术参数表
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灵敏度：±0.75% 或 1/3LDL
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准确度：±3% 或 LDL
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20ppb 时的响应速度：< 2 minutes
电子参数
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报警指示：系统报警
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供电要求：100-240VAC，50/60Hz
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功率：300W(MAX)
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用户界面：10.1 寸液晶显示屏
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信号输出：4-20mA 输出、RS485 输出、
自适应网络、RS-232 串行通信
气路系统和条件
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工作环境温度：10℃～ 40℃
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工作环境相对湿度：30%至 80%(无凝液)
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存放温度：-10℃ -40℃
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管路材料：316L 不锈钢
Ra < 0.25μm -
检漏测试：< 1×10-9mbar l/sec
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入口压力：0 ～ 15psi
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最大流量：约 1.0slm
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通入气体温度：最高 60℃
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进出气口气路：1/4VCR 公头
其它
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尺寸：730mm×310mm×248mm
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重量：15Kg
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外观：垂直面板
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被检气和背景气：HF in Cleanroom Air
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测量范围：0-1ppm
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测量下限：20.0ppt
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灵敏度：7.0ppt
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