- 性能规格表
- 技术参数表
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- 商品名称: 微量水分分析仪
- 商品编号: Puren-B H2O
- 副标: Pure<sup>n</sup>-B H<sub>2</sub>O
- 微量组分: H2O
- 行业用途: 特气行业,空分领域,氢能,半导体制造
- 产品型号: Puren系列
• ppb 级别测量精度 • 绝对测量（无需校准） • 实时在线测量 • 低成本，免维护（无需定期更换 / 维护传感器） • 响应速度快 • 简约触控，数据传输
性能
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适用气体：多数有毒的、不活跃性气体
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检测范围：详见技术参数表
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测量下限：详见技术参数表
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灵敏度：±0.75% 或 1/3LDL
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准确度：±3% 或 LDL
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响应速度：< 1minute to 90%
电子参数
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报警指示：系统报警
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供电要求：100-240VAC，50/60Hz
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功率：40W(MAX)
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用户界面：7 寸液晶显示屏
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信号输出：4-20mA 输出、RS485 输出、
自适应网络、RS-232 串行通信
气路系统和条件
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工作环境温度：10℃～ 40℃
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工作环境相对湿度：30%至 80%(无凝液)
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存放温度：-10℃ -40℃
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管路材料：316L 不锈钢
Ra < 0.25μm -
检漏测试：< 1×10-9mbar l/sec
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入口压力：0.05 ～ 0.8MPa
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最大流量：约 1.5slm
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通入气体温度：最高 60℃
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进出气口气路：1/4VCR 公头
其它
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尺寸：630mm×210mm×220mm
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重量：10Kg
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外观：斜面板或垂直面板
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被检气和背景气
H2O in N2
H2O in H2
H2O in He
H2O in Ar
H2O in O2
H2O in CO
H2O in CO2
H2O in COS
H2O in Ne
H2O in Kr
H2O in Xe
测量范围
0-20ppm
0-16ppm
0-4ppm
0-9ppm
0-12ppm
0-24ppm
0-25ppm
0-23ppm
0-5ppm
0-11ppm
0-13ppm
测量下限
1.0ppb
1.0ppb
0.25ppb
0.6ppb
0.7ppb
1.5ppb
2.0ppb
12.0ppb
0.3ppb
0.6ppb
0.8ppb
灵敏度
0.4ppb
0.4ppb
0.1ppb
0.2ppb
0.25ppb
0.5ppb
0.7ppb
4.0ppb
0.1ppb
0.2ppb
0.3ppb
被检气和背景气
H2O in SF6
H2O in NF3
H2O in CF4
H2O in C2F6
H2O in C3F8
H2O in C4F6
H2O in C4F8
H2O in CDA
H2O in Cl2
H2O in HCl
H2O in HBr
测量范围
0-15ppm
0-20ppm
0-15ppm
0-15ppm
0-20ppm
0-25ppm
0-20ppm
0-18ppm
0-25ppm
0-50ppm
0-100ppm
测量下限
1.0ppb
2.5ppb
4.0ppb
3.0ppb
3.0ppb
200ppb
3.0ppb
1.0ppb
1.5ppb
3.0ppb
12.0ppb
灵敏度
0.4ppb
0.9ppb
1.2ppb
1.0ppb
1.0ppb
100ppb
1.0ppb
0.4ppb
0.5ppb
1.0ppb
4.0ppb
* 注：如需测量 Cl2、HCl、HBr，气路材料需采用哈氏合金
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