微量水分分析仪
Puren-M H2O

微量水分分析仪


关键字:


• ppb 级别测量精度 • 绝对测量(无需校准) • 实时在线测量 • 低成本,免维护(无需定期更换 / 维护传感器) • 响应速度快 • 简约触控,数据传输
  • 性能规格表
  • 技术参数表
    • 商品名称: 微量水分分析仪
    • 商品编号: Puren-M H2O
    • 副标: Pure<sup>n</sup>-M H<sub>2</sub>O
    • 微量组分: H2O
    • 行业用途: 特气行业,空分领域,半导体制造
    • 产品型号: Puren系列

    • ppb 级别测量精度 • 绝对测量(无需校准) • 实时在线测量 • 低成本,免维护(无需定期更换 / 维护传感器) • 响应速度快 • 简约触控,数据传输

    性能

    • 适用气体:多数有毒的、不活跃性气体

    • 检测范围:详见技术参数表

    • 测量下限:详见技术参数表

    • 灵敏度:±0.75% 或 1/3LDL

    • 准确度:±3% 或 LDL

    • 响应速度:< 1minute to 90%

     

    电子参数

    • 报警指示:系统报警

    • 供电要求:100-240VAC,50/60Hz

    • 功率:40W(MAX)

    • 用户界面:7 寸液晶显示屏

    • 信号输出:4-20mA 输出、RS485 输出、
           自适应网络、RS-232 串行通信

     

    气路系统和条件

    • 工作环境温度:10℃~ 40℃

    • 工作环境相对湿度:30%至 80%(无凝液)

    • 存放温度:-10℃ -40℃

    • 管路材料:316L 不锈钢
           Ra < 0.25μm

    • 检漏测试:< 1×10-9mbar l/sec

    • 入口压力:0.05 ~ 0.8MPa

    • 最大流量:约 1.5slm

    • 通入气体温度:最高 60℃

    • 进出气口气路:1/4VCR 公头

     

    其它

    • 尺寸:630mm×210mm×220mm

    • 重量:10Kg

    • 外观:斜面板或垂直面板

     

  • 被检气和背景气

    H2O in N2

    H2O in H2

    H2O in He

    H2O in Ar

    H2O in O2

    H2O in CO

    H2O in CO2

    H2O in COS

    H2O in Ne

    H2O in Kr

    H2O in Xe

    测量范围

    0-20ppm

    0-16ppm

    0-4ppm

    0-9ppm

    0-12ppm

    0-24ppm

    0-25ppm

    0-23ppm

    0-5ppm

    0-11ppm

    0-13ppm

    测量下限

    10.0ppb

    10.0ppb

    2.5ppb

    6.0ppb

    7.0ppb

    4.5ppb

    20.0ppb

    24.0ppb

    1.0ppb

    2.0ppb

    2.0ppb

    灵敏度

    4.0ppb

    4.0ppb

    1.0ppb

    2.0ppb

    2.5ppb

    1.5ppb

    8.0ppb

    8.0ppb

    0.4ppb

    0.8ppb

    0.8ppb

     

    被检气和背景气

    H2O in SF6

    H2O in NF3

    H2O in CF4

    H2O in C2F6

    H2O in C3F8

    H2O in C4F6

    H2O in C4F8

    H2O in CDA

    测量范围

    0-15ppm

    0-20ppm

    0-15ppm

    0-15ppm

    0-20ppm

    0-25ppm

    0-20ppm

    0-18ppm

    测量下限

    3.0ppb

    7.5ppb

    15.0ppb

    15.0ppb

    15.0ppb

    200ppb

    15.0ppb

    10.0ppb

    灵敏度

    1.5ppb

    3.0ppb

    5.0ppb

    5.0ppb

    5.0ppb

    100ppb

    5.0ppb

    4.0ppb

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