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应用领域

半导体制造

分析大宗气体中痕量HCI、HF、NH3、CH2O、CH4、CO、CO2、H2O、H2S等多种杂质

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合作伙伴

杭州士兰集成电路有限公司
华为（东莞）有限公司
台湾台积电
长江存储
中芯国际
三星

应用领域

环保监测

主要用于大气温室气体实时、快速、准确的监测，包括CO2、CH4、CO等，通过利用先进的光腔衰荡光谱法检测技术，对空气中温室气体进行高精度监测、城市/区域大气环境监测、固定污染源排放监测等。

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合作伙伴

武汉安科睿特科技有限公司
中国测试技术研究院
中国工程物理研究院
包头市农牧业科学研究院
河北先河环保科技股份有限公司

应用领域

特气行业

用于超纯氨生产 、 特种气体质量监控，包括HCl、Cl2、CO2、N2O、 NF3、CxFy、Xe等，拥有抗腐蚀机型供您选择。

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合作伙伴

中国船舶重工集团公司第七一八研究所
大连科利德光电子材料有限公司
福建久策气体有限公司
全椒南大光电材料股份有限公司
浙江建业微电子材料有限公司
浙江博瑞电子科技有限公司

应用领域

空分领域

空气压缩分离过程中，对目标气体进行痕量杂质气体检测。

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合作伙伴

四川空分集团有限公司
新锐空分
衢州杭氧特种气体有限公司
上海宝钢气体有限公司
唐山首钢气体有限公司
武汉武钢气体有限公司

应用领域

氢能

分析燃料电池车用高纯氢气中痕量HCI、HF、NH3、CH2O、CH4、CO、CO2、NH3、H2O、H2S等多种杂质。

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